ITO

ITO 靶材
Indium Tin
Oxide Target

ITO靶材以磁控濺射等方式用于導電玻璃的制備. ITO鍍膜具有導電性、對可見光的透明性以及對紅外線的反射性三個特性，其廣泛用于顯示屏、玻璃幕墻、觸摸屏、太陽能電池、雷達屏蔽、冰柜、防霧玻璃等產品，尤以顯示屏為大宗。

恒博通過獨立自主的研發，在與上下游廠商合作中,為ITO靶材由進口壟斷逐漸變為國產化產品供應做出了應有的責任.

通過G8.5的認證，恒博以無壓燒結法制作的ITO旋轉靶材具有高密度、高焊合率以及大尺寸的特性.

通過G8.5認證的平面靶材能夠滿足與旋轉靶材同樣的高密度、高焊合率以及大尺寸的特性.

擁有一條完整的獨立ITO原材料粉體制備生產線可以使恒博嚴格控制原材料產品質量。經過二次開發的全新粉體制備方法使恒博的ITO原材料粉體具有高純度以及高均勻性的特質.

一套完整的質量檢測體系是保障產品質量及穩定性的重要環節。恒博在此項的投入完全按照國際檢測標準而購進檢測設備。獨立的檢測體系使得恒博可以在第一時間發現產品問題并解決，這不僅保障了客戶的權益，同樣大大加快了生產周期.

Si ≤5； Fe ≤3； Ca ≤3； Na ≤3； Cu ≤2； Cd ≤1.

ITO的成品質檢需經過7項檢測。分別為產品批號、產品外觀、產品尺寸、強度寬度、純度以及電導率。檢驗設備將會涉及密度測量天平、等離子體質譜儀、全譜直讀等離子體發射光譜儀、X射線衍射儀、掃描電鏡等.

恒博公司已建成2條ITO靶材生產線，包括從粉體生產、成型、燒結、加工、Bonding以及廢靶回收的完整產品線。

恒博已成功研發ITO雙拼平面靶材，并且得到國內知名使用廠商的實際上機測試，靶材單塊長度可達1325mm。

我們可以根據您的特殊需求，定制不同的靶材尺寸產品。

認證：通過G8.5認證，并已成為國內知名TFT面板廠商供應商

產能：10噸/月

可訂制尺寸以滿足客戶生產工藝

性能 Properties	單位 unit	標準值 Standard Value
類型 Types	wt%	In2O3:SnO2=90:10 Others are subject to the requirements of the customers
單塊平面靶最大規格 Max Size of single Plane ITO	mm	1200x400x(6.0-10)
相對密度 Relative Density	/	≥99.8%
Ca (ppm)	<2	<2
體積電阻率 Volume Resistivity	Ω·cm	1.35x10^-4
抗彎強度 Bending Strength	Mpa	≥150
純度 Purity	/	≥99.995%
失氧率 Oxygen Loss Rate	/	≤0.5%

ITO靶材以磁控濺射等方式用于導電玻璃的制備. ITO鍍膜具有導電性、對可見光的透明性以及對紅外線的反射性三個特性.

其廣泛用于顯示屏、玻璃幕墻、觸摸屏、太陽能電池、雷達屏蔽、冰柜、防霧玻璃等產品，尤以顯示屏為大宗.

認證：已進行G8.5的認證

產能：5噸/月

可訂制尺寸以滿足客戶生產工藝

性能 Properties	單位 unit	標準值 Standard Value
類型 Types	wt%	In2O3:SnO2=90:10 Others are subject to the requirements of the customers
單節旋轉靶最大規格 Max Size of single Rotated ITO	mm	Φ135xΦ153x450
相對密度 Relative Density	/	≥99.8%
Ca (ppm)	<2	<2
體積電阻率 Volume Resistivity	Ω·cm	1.35x10^-4
抗彎強度 Bending Strength	Mpa	≥150
純度 Purity	/	≥99.995%
失氧率 Oxygen Loss Rate	/	≤0.5%